مقدمه ای بر گازهای لیزر اگزایمر

گازهای لیزر اگزایمر که به نام گازهای اکسیپلکس نیز شناخته می شوند، به عنوان محیط لیزر در لیزرهای اگزایمر استفاده می شوند.آنها قادر به انتشار پرتوهای لیزر فرابنفش با شدت بالا از طریق تشکیل و فروپاشی مولکول‌های اگزایمر یا دایمرهای کوتاه مدت هستند.در اینجا برخی از ویژگی های کلیدی ازگازهای اگزایمر:

• ترکیب - آنها از یک گاز نجیب مانند آرگون یا کریپتون تشکیل شده اند که با یک گاز هالوژن واکنش پذیر، معمولاً فلوئور یا کلر، مخلوط شده است.ترکیبات محبوب ArF و KrF هستند.
•  
• تشکیل اگزایمر - اتم گاز نجیب و گاز هالوژن به طور موقت در اثر تحریک الکتریکی به هم متصل می شوند تا اگزایمر را تشکیل دهند، یک دایمر در حالت برانگیخته که به سرعت تجزیه می شود.
•  
• انتشار UV - این فرآیند فروپاشی یک فوتون را در محدوده فرابنفش آزاد می کند.مخلوط‌های گازی مختلف، طول موج‌های UV متفاوتی را منتشر می‌کنند که برای کاربردهای مختلف مناسب است.
•  
• خروجی پالسی - لیزرهای اکسایمر پرتوهای پالسی با مدت زمان پالس بسیار کوتاه نانوثانیه و توان های اوج بالای مگاوات تولید می کنند.
•  
• سیستم های خنک کننده - گازها در سیستم های گردش بسته گنجانده می شوند و تا دمای برودتی خنک می شوند تا واکنش excimer را فعال کنند.

خواص منحصر به فرد گازهای لیزر اگزایمر، به ویژه توانایی آنها در تولید نور لیزر ماوراء بنفش قدرتمند، آنها را در فرآیندهای مختلف تکنولوژیکی و صنعتی که نیاز به منابع قوی UV دارند، مفید می کند.