گاز هگزافلوئورواتان C2F6

هگزافلوئورواتان یا C2F6 یک گاز همه کاره با چندین کاربرد صنعتی است.معمولاً در صنعت نیمه هادی به عنوان عامل اچ پلاسما برای تمیز کردن و حکاکی ویفرهای سیلیکونی استفاده می شود.همچنین به عنوان مبرد در سیستم های خنک کننده و به عنوان یک عامل اطفاء حریق به دلیل خاصیت غیر سمی و غیر قابل اشتعال استفاده می شود.با این حال، C2F6 یک گاز گلخانه ای قوی با پتانسیل گرمایش جهانی بالا است، به این معنی که اگر در جو منتشر شود، می تواند به طور قابل توجهی در تغییرات آب و هوایی نقش داشته باشد.به این ترتیب، رسیدگی و دفع C2F6 با دقت و استفاده از مواد جایگزین در صورت امکان برای کاهش انتشار گازهای گلخانه ای مهم است.