Introducción al gas láser excimer de fluoruro de argón
El fluoruro de argón, con la fórmula química ArF, es un gas láser excimer popular.Los láseres excimer utilizan mezclas de gases reactivos que forman moléculas excimer de vida corta para emitir ráfagas de radiación láser ultravioleta.Algunos datos clave sobre el ArF: Composición: el gas ArF consta de un 0,1 % de flúor y un 99,9 % de argón equilibrado con un gas amortiguador...
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