fluoruro de argón, con la fórmula química ArF, es un gas láser excimer popular.Los láseres excimer utilizan mezclas de gases reactivos que forman moléculas excimer de vida corta para emitir ráfagas de radiación láser ultravioleta.Algunos datos clave sobre la ArF:
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Composición: el gas ArF consta de 0,1% de flúor y 99,9% de argón equilibrado con un gas tampón como neón o helio.
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Longitud de onda ultravioleta: los láseres ArF emiten luz coherente a 193 nanómetros, una de las longitudes de onda UV más cortas.generado por excímeros.
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Salida pulsada: el láser se produce en pulsos de nanosegundos con una potencia máxima alta que alcanza los gigavatios pero con un ciclo de trabajo bajo.
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Sistemas de enfriamiento: el gas ArF debe circular y enfriarse a temperaturas criogénicas de alrededor de -60 °C para permitir la formación de excímeros.
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Aplicaciones: la luz UV de 193 nm se utiliza ampliamente en fotolitografía para la fabricación de chips semiconductores y otros micromecanizados de precisión.
Con su longitud de onda corta y su rendimiento confiable, los láseres excimer de fluoruro de argón son una fuente UV versátil para el procesamiento avanzado de materiales que requieren la máxima resolución.
Hora de publicación: 12 de septiembre de 2023