Algunos de los atributos más útiles del tetrafluoruro de carbono se relacionan con sus características eléctricas y dieléctricas.Cuando se somete a fuertes campos eléctricos,CF4se descompone para liberar iones de fluoruro y electrones altamente reactivos.
Además de las aplicaciones de grabado, el tetrafluoruro de carbono también ayuda con las deposiciones de películas delgadas en la fabricación de dispositivos semiconductores.Cuando se utiliza como gas precursor en sistemas químicos de deposición de vapor, el flúor se disocia fácilmente del CF4 permitiendo la deposición de capas de dióxido de silicio dopadas con flúor.Estas capas aislantes de óxido fluorado tienen constantes dieléctricas más bajas en comparación con el SiO2 estándar, lo que permite señales eléctricas más rápidas en microchips de alto rendimiento.El CF4 también se utiliza para depositar capas de polímeros de fluorocarbono que funcionan como recubrimientos antirreflectantes sobre fotoprotectores durante el proceso de litografía.Además, la mejora del plasma a base de CF4 ayuda a la deposición de vidrio de silicato dopado con flúor, un aislante alternativo con una constante dieléctrica más baja que la sílice pura.
Específicamente, el CF4 tiene una excelente rigidez dieléctrica de 89 kV/cm en comparación con solo 30 kV/cm del aire.Esta capacidad de aislar altos voltajes en un espacio compacto hace que el CF4 sea ideal para dieléctricos gaseosos en generadores, aceleradores de partículas y equipos de RF de alta potencia.
Además, el CF4 muestra excelentes capacidades de extinción de arco.Al formarse un arco, el CF4 se disocia fácilmente para formar especies ionizadas y radicales que facilitan la interrupción y el enfriamiento de la corriente.Esto permite que CF4 apague rápidamente los arcos en disyuntores y equipos de conmutación.
Además, la impresionante estabilidad térmica del CF4 lo mantiene gaseoso y no reactivo en presencia de descargas eléctricas y altas temperaturas que provocarían la descomposición de otros compuestos.Todas estas cualidades eléctricas hacen del tetrafluoruro de carbono un componente indispensable para permitir sistemas de energía compactos y eficientes.
Hora de publicación: 16 de octubre de 2023