Υπάρχουν μια ποικιλία απόαέριο λέιζερ excimerσυνδυασμοί που χρησιμοποιούνται βιομηχανικά και επιστημονικά ανάλογα με το επιθυμητό μήκος κύματος υπεριώδους και το επίπεδο ενέργειας παλμού.Μερικά από τα πιο κοινά και χρήσιμα μείγματα περιλαμβάνουν:
- KrF (φθοριούχο κρυπτόν) – Παράγει UV 248 nm δημοφιλές στη λιθογραφία ολοκληρωμένου κυκλώματος.Υψηλή απόδοση και ποιότητα δέσμης.
- ArF (φθοριούχο αργό) – Παρέχει υπεριώδες φως 193 nm ιδανικό για προηγμένη κατασκευή ημιαγωγών.Χαμηλότερη ενέργεια παλμού.
- XeCl (χλωριούχο ξένο) – Εκπέμπει 308 nm UV με υψηλές παλμικές ενέργειες που χρησιμοποιούνται στην αγγειοπλαστική με λέιζερ.
- XeF (φθοριούχο ξένο) – Έξοδος 351 nm UV κατάλληλη για παλμικά αντιδραστήρια φθορίωσης.Παλμοί πολύ υψηλής ενέργειας.
- F2 (φθόριο) – Το καθαρό αέριο φθόριο παράγει ακτινοβολία UV κενού 157 nm, ένα από τα μικρότερα μήκη κύματος.
- KrCl (χλωριούχο κρυπτόν) – εκπομπή 222 nm βελτιστοποιημένη για επεμβάσεις οφθαλμικής χειρουργικής.Πιο ακριβής αφαίρεση ιστού.
- ArCl (χλωριούχο αργό) – 175 nm UV κατάλληλο για εφαρμογές βαθιάς φασματοσκοπίας UV για έρευνα.
- KrBr (βρωμιούχο κρυπτόν) – 206 nm μέσο εξαγωγής με βελτιωμένη οπτική σταθερότητα, το καλύτερο για βιομηχανικές χρήσεις.
Η επιλογή του βέλτιστου μείγματος αερίου λέιζερ excimer εξαρτάται από τις απαιτήσεις της συγκεκριμένης εφαρμογής για ενέργεια παλμού, σταθερότητα και ακρίβεια μήκους κύματος υπεριώδους.Τα σωστά μέσα αερίου μεγιστοποιούν την απόδοση των λέιζερ excimer.
Ώρα δημοσίευσης: Σεπ-08-2023