Φθοριούχο αργό, με τον χημικό τύπο ArF, είναι ένα δημοφιλές αέριο λέιζερ excimer.Τα λέιζερ Excimer χρησιμοποιούν αντιδραστικά μείγματα αερίων που σχηματίζουν βραχύβια μόρια excimer για να εκπέμπουν εκρήξεις υπεριώδους ακτινοβολίας λέιζερ.Μερικά βασικά στοιχεία για το ArF:
-
Σύνθεση – Το αέριο ArF αποτελείται από 0,1% φθόριο και 99,9% αργό ισορροπημένα με ένα ρυθμιστικό αέριο όπως νέον ή ήλιο.
-
Μήκος κύματος υπεριώδους – τα λέιζερ ArF εκπέμπουν συνεκτικό φως στα 193 νανόμετρα, ένα από τα μικρότερα μήκη κύματος UVπου δημιουργούνται από excimers.
-
Παλμική έξοδος – Το λέιζινγκ εμφανίζεται σε παλμούς νανοδευτερόλεπτου με υψηλή ισχύ αιχμής που φτάνει τα γιγαβάτ αλλά χαμηλό κύκλο λειτουργίας.
-
Συστήματα ψύξης – Το αέριο ArF πρέπει να κυκλοφορεί και να ψύχεται σε κρυογονικές θερμοκρασίες γύρω στους -60°C για να καταστεί δυνατός ο σχηματισμός διεγέρτη.
-
Εφαρμογές – Το φως UV 193nm χρησιμοποιείται ευρέως στη φωτολιθογραφία για την κατασκευή τσιπ ημιαγωγών και άλλες μικρομηχανουργικές μηχανές ακριβείας.
Με το μικρό μήκος κύματος και την αξιόπιστη απόδοσή τους, τα λέιζερ excimer φθοριούχου αργού είναι μια ευέλικτη πηγή UV για προηγμένη επεξεργασία υλικών που απαιτεί μέγιστη ανάλυση.
Ώρα δημοσίευσης: Σεπ-12-2023