Παρά τα πλεονεκτήματά τους, η ενσωμάτωση αερίων λέιζερ excimer συνοδεύεται από ορισμένες εγγενείς τεχνικές προκλήσεις που απαιτούν προσεκτικούς μηχανικούς ελέγχους και μέτρα ασφαλείας:
Τοξικότητα – Τα αντιδραστικά αέρια αλογόνου όπως το φθόριο και το χλώριο έχουν οξείες τοξικότητες που απαιτούν συστήματα χειρισμού αερίων και πλυντρίδες.
- Διαβρωτικότητα -Μείγματα αερίων Excimerείναι εξαιρετικά διαβρωτικά σε κοινά μέταλλα και υλικά που απαιτούν εξειδικευμένο εξοπλισμό.
- Δραστικότητα – Οι παράπλευρες αντιδράσεις μπορεί να παράγουν εκρηκτικά, τοξικά ή διαβρωτικά υποπροϊόντα που πρέπει να προληφθούν.
- Μικρή διάρκεια ζωής – Τα παροδικά μόρια excimer αποσυντίθενται γρήγορα περιορίζοντας τη διάρκεια του παλμού λέιζερ.
- Εξάντληση – Τα άτομα ευγενούς αερίου και τα μόρια αλογόνου καταναλώνονται κατά τη λειτουργία που απαιτεί σφραγισμένα συστήματα αναπλήρωσης.
- Κρυογονική – Η διατήρηση των αερίων σε κρυογονικές θερμοκρασίες απαιτεί περίπλοκο και δαπανηρό εξοπλισμό ψύξης.
- Οξείδωση – Ακαθαρσίες όπως υδρατμοί ή οξυγόνο πρέπει να διατηρούνται κάτω από μέρη ανά εκατομμύριο για να αποφευχθεί η απώλεια απόδοσης.
- Κόστος – Τα καθαρά ευγενή αέρια και αέρια αλογόνου μαζί με εξοπλισμό ακριβείας έχουν ως αποτέλεσμα υψηλό κόστος.
Με proΣύμφωνα με τα πρωτόκολλα ασφαλείας, την ανακύκλωση αερίων και τους προηγμένους μηχανικούς ελέγχους, οι κίνδυνοι και οι δυσκολίες των αερίων λέιζερ excimer μπορούν να μετριαστούν για να αξιοποιηθούν πλήρως οι μοναδικές και πολύτιμες δυνατότητες υπεριώδους λέιζερ τους.
Ώρα δημοσίευσης: Σεπ-08-2023