Ο τετραφθοριούχος άνθρακας, με τον χημικό τύπο CF4, είναι ένα ανόργανο αέριο φθοράνθρακα.Έχει τετραεδρική μοριακή γεωμετρία που αποτελείται από ένα κεντρικό άτομο άνθρακα που περιβάλλεται από τέσσερα άτομα φθορίου.Ακολουθούν μερικές από τις αξιοσημείωτες φυσικές και χημικές ιδιότητες του CF4:
Τετραφθοριούχος άνθρακας (CF4)έχει γίνει ένα απαραίτητο αέριο για τη βιομηχανία ηλεκτρονικών, ειδικά στις διαδικασίες χάραξης πλάσματος και εναπόθεσης χημικών ατμών.Με την υψηλή περιεκτικότητά του σε φθόριο, το CF4 αποσυντίθεται σε αντιδραστικές ρίζες F και ιόντα που χαράσσουν επιλεκτικά υλικά όπως το διοξείδιο του πυριτίου έναντι του πυριτίου.Αυτό επιτρέπει τη διαμόρφωση και τη διαμόρφωση ακριβείας των μονωτικών στρωμάτων οξειδίου σε ημιαγώγιμες γκοφρέτες κατά την παραγωγή μικροτσίπ.Το CF4 είναι επίσης χρήσιμο για τον καθαρισμό των θαλάμων εναπόθεσης μέσω της ικανότητάς του να αφαιρεί επίμονα υπολείμματα που περιέχουν πυρίτιο.Επιπλέον, το CF4 μπορεί να χαράξει επιλεκτικά βολφράμιο και τιτάνιο ενώ δεν αφαιρεί το αλουμίνιο.Με συντονίσιμες συνθήκες πλάσματος, τα πλάσματα CF4 επιτρέπουν την ανισότροπη χάραξη απαραίτητη για τη διατήρηση κάθετων πλευρικών τοιχωμάτων σε χαραγμένα χαρακτηριστικά για την κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων.
Σε τυπική θερμοκρασία και πίεση, είναι ένα μη εύφλεκτο, άχρωμο αέριο.Έχει ελαφρώς αχνή αιθέρια μυρωδιά.Είναι μέτρια διαλυτό σε οργανικούς διαλύτες.Έχει υψηλή πυκνότητα 3,72 g/L στο STP, περίπου 3 φορές βαρύτερο από τον αέρα.Είναι ένα από τα πιο χημικά και θερμικά σταθερά φθοριούχα άνθρακα.
Το CF4 παραμένει αδρανές σε ένα ευρύ φάσμα θερμοκρασιών έως περίπου 500°C.Δεν μπορεί εύκολα να υγροποιηθεί παρά μόνο σε υψηλές πιέσεις.Βασική ιδιότητά του είναι η υψηλή ηλεκτραρνητικότητα και η διηλεκτρική του αντοχή, περίπου 2 φορές υψηλότερη από τον αέρα.Αυτό το καθιστά κατάλληλο ως αέριο διηλεκτρικό μέσο.Συνολικά, το CF4 είναι ένα εξαιρετικά συμμετρικό, σταθερό και μη αντιδραστικό αέριο εκτός από την παρουσία ακραίας θέρμανσης ή ηλεκτρικών εκκενώσεων.
Ώρα δημοσίευσης: Οκτ-16-2023