Octafluorcyclobutan (C4F8)ist ein vollständig fluoriertes Cyclobutan-Derivat, das in einer Reihe spezialisierter industrieller Anwendungen verwendet wird, die sich seine besonderen Eigenschaften zunutze machen:
- Dielektrischer Isolator – Aufgrund seiner hohen Durchschlagsfestigkeit und Lichtbogenlöschfähigkeit eignet sich C4F8 gut zum Isolieren und Schützen elektrischer Hochspannungsgeräte.
- Plasmaätzen – Die Halbleiterindustrie verwendet C4F8 als Speisegas für Plasmaätz- und Reinigungsreaktoren während Mikrochip-Herstellungsprozessen.
- Kammerreinigung – Ablagerungen in Aufdampfkammern, wie sie beispielsweise für CVD und PVD verwendet werden, können durch C4F8-Plasmareinigung entfernt werden.
- Faseroptik – C4F8 wird als Prozessgas bei der Herstellung verlustarmer optischer Fasern zur Abscheidung fluordotierter Mantelglasschichten verwendet.
- Polymersynthese – C4F8 kann bei der Kontrolle von Polymerisationsreaktionen und der Synthese spezieller Fluorpolymere helfen, indem es freie Radikale abfängt und das Kettenwachstum begrenzt.
- Prüfgas – Aufgrund der hohen Nachweisbarkeit und geringen Toxizität von C4F8 eignet es sich als gasförmiges Prüfgas für Lecktests und andere Diagnoseanwendungen.
Dank seiner chemischen und thermischen Stabilität in Kombination mit seinen dielektrischen und ätzenden Eigenschaften hat sich Octafluorcyclobutan einige wichtige Nischenrollen gesichert, insbesondere in der Elektronikproduktion.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 07.09.2023