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Wie Argonfluorid-Excimer-Laser funktionieren

 

DerArgonfluoridDer ArF-Excimer-Laser nutzt die einzigartigen Eigenschaften der ArF-Gasmischung, um einen präzisen 193-Nanometer-Ultraviolett-Laserstrahl zu erzeugen.Hier ist ein genauerer Blick auf den Laserprozess:

 

  • Gasentladung – Durch Anlegen einer elektrischen Hochspannungsentladung an das ArF-Gas entstehen freie Elektronen und Argonionen.

  • Excimer-Bildung – Die Argonatome und Fluormoleküle binden sich und bilden Excimermoleküle in kurzlebigen angeregten Zuständen.

  • Stimulierte EmissionIon – Die Excimere zerfallen schnell wieder in ungebundene Atome und setzen Photonen frei, die eine weitere Photonenfreisetzung auslösen.

  • Optischer Hohlraum – Das emittierte UV-Licht prallt zwischen dem Rückspiegel und dem teilweisen Vorderspiegel ab und regt so eine weitere Lichtabgabe an.

  • Nanosekundenimpulse – Die Nichtgleichgewichtsnatur der Excimer-Reaktion begrenzt die Impulsdauer auf Nanosekunden mit Spitzenleistungen im Megawattbereich.

  • Strahlabgabe – Der Ausgangsstrahl wird durch präzise optische Komponenten fokussiert und über die Zieloberfläche gescannt.

 

Durch diesen Prozess kann der transiente Excimer-Zustand im Argonfluoridgas effizient hochenergetische 193-nm-Ultraviolettimpulse für Mikrobearbeitungsanwendungen erzeugen, die höchste Präzision erfordern.


Zeitpunkt der Veröffentlichung: 12. September 2023