Herausforderungen bei der Arbeit mit Excimer-Lasergasen

Trotz ihrer Vorteile bringt der Einsatz von Excimer-Lasergasen einige inhärente technische Herausforderungen mit sich, die sorgfältige technische Kontrollen und Sicherheitsmaßnahmen erfordern:

Toxizität – Die reaktiven Halogengase wie Fluor und Chlor sind akut toxisch und erfordern Gashandhabungssysteme und Gaswäscher.

• Korrosivität –Excimer-Gasmischungensind extrem korrosiv gegenüber gewöhnlichen Metallen und Materialien und erfordern spezielle Ausrüstung.
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• Reaktivität – Nebenreaktionen können explosive, giftige oder ätzende Nebenprodukte erzeugen, die verhindert werden müssen.
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• Kurze Lebensdauer – Die vorübergehenden Excimermoleküle zerfallen schnell, wodurch die Dauer des Laserpulses begrenzt wird.
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• Erschöpfung – Edelgasatome und Halogenmoleküle werden während des Betriebs verbraucht, was versiegelte Nachfüllsysteme erfordert.
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• Kryotechnik – Um Gase auf kryogenen Temperaturen zu halten, sind komplexe und kostspielige Kühlgeräte erforderlich.
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• Oxidation – Verunreinigungen wie Wasserdampf oder Sauerstoff müssen unter Teilen pro Million gehalten werden, um Leistungsverluste zu vermeiden.
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• Kosten – Die reinen Edelgase und Halogengase sowie die Präzisionsausrüstung verursachen hohe Kosten.

Mit ProfiDurch Sicherheitsprotokolle, Gasrecycling und fortschrittliche technische Kontrollen können die Gefahren und Schwierigkeiten von Excimer-Lasergasen gemindert werden, um ihre einzigartigen und wertvollen UV-Laserfähigkeiten voll auszuschöpfen.