Excimer-Lasergase, auch Exciplex-Gase genannt, werden als Lasermedium in Excimer-Lasern verwendet.Sie sind in der Lage, durch Bildung und Zerfall kurzlebiger Excimer-Moleküle oder Dimere hochintensive ultraviolette Laserstrahlen zu emittieren.Hier sind einige Hauptmerkmale vonExcimer-Gase:
- Zusammensetzung – Sie bestehen aus einem Edelgas wie Argon oder Krypton, gemischt mit einem reaktiven Halogengas, normalerweise Fluor oder Chlor.Beliebte Kombinationen sind ArF und KrF.
- Excimer-Bildung – Das Edelgasatom und das Halogengas verbinden sich bei elektrischer Stimulation vorübergehend und bilden das Excimer, ein Dimer in einem angeregten Zustand, das schnell zerfällt.
- UV-Emission – Dieser Zerfallsprozess setzt ein Photon im ultravioletten Bereich frei.Verschiedene Gasmischungen emittieren unterschiedliche UV-Wellenlängen, die für verschiedene Anwendungen geeignet sind.
- Gepulster Ausgang – Excimer-Laser erzeugen gepulste Strahlen mit sehr kurzen Pulsdauern von Nanosekunden und hohen Spitzenleistungen von Megawatt.
- Kühlsysteme – Die Gase werden in geschlossene Kreislaufsysteme eingebunden und auf kryogene Temperaturen abgekühlt, um die Excimer-Reaktion zu ermöglichen.
Die einzigartigen Eigenschaften von Excimer-Lasergasen, insbesondere ihre Fähigkeit, leistungsstarkes ultraviolettes Laserlicht zu erzeugen, machen sie für verschiedene technologische und industrielle Prozesse nützlich, die starke UV-Quellen erfordern.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 08.09.2023