Vorteile von Excimer-Lasergasen

   Excimer-Lasergasebieten einzigartige Vorteile, die Excimerlaser zu einem vielseitigen Werkzeug für die Mikrobearbeitung, medizinische Verfahren und fortschrittliche Fotolithographieanwendungen gemacht haben.Zu den Vorteilen von Excimer-Lasergasen gehören:

• Einstellbare Wellenlänge – Durch Variation der Edel-Halogen-Gaskombination können unterschiedliche UV-Wellenlängen erzeugt werden, die für bestimmte Anwendungen optimiert sind.
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• Kurze Pulse – Excimer-Laser senden Nanosekundenpulse aus, die extrem hohe Momentanleistungen für den Kaltmaterialabtrag ermöglichen.
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• Hervorragende Strahlqualität – Die Impulse verfügen über eine hervorragende Kohärenz und Gleichmäßigkeit für eine reibungslose, präzise Verarbeitung.
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• Minimale thermische Effekte – Der Nichtgleichgewichts-Plasmazustand von Excimergasen ermöglicht den direkten Übergang von Gas zu UV-Photonen.
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• Kleine Punktgröße – Excimer-Laserstrahlen können bis zu Punktdurchmessern im Submikrometerbereich fein fokussiert werden.
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• Hoher Photonenfluss – Die Dissoziation von Excimergas führt zu energiereichen Photonenausbrüchen, die optimal zum Aufbrechen molekularer Bindungen geeignet sind.
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• Kaltvakuumbetrieb – kryogene Kühlung verhindert Gaskontamination und verbessert die Zuverlässigkeit.

Bei Anwendungen, bei denen andere Laser wirkungslos sind, können nur die einzigartigen Hochleistungs-Ultraviolettstrahlen von Excimer-Lasergasen durch ihre abstimmbare, präzise Abgabe photonischer Energie wichtige industrielle und medizinische Fortschritte ermöglichen.