دور فلوريد الأرجون في الطباعة الحجرية الضوئية

واحدة من الاستخدامات الأكثر حيوية لفلوريد الأرجون (ArF)يتم استخدام ليزر الإكسيمر في الطباعة الحجرية الضوئية أثناء تصنيع الدوائر المتكاملة لأشباه الموصلات.يتيح الطول الموجي لليزر ArF البالغ 193 نانومتر دقة أكبر في الزخرفة مع تقلص حجم مكونات الرقاقة.

• دقة أعلى - يسمح الطول الموجي الأقصر للأشعة فوق البنفسجية بحفر ميزات الدوائر الأصغر التي يصل طولها إلى 45 نانومتر على رقائق السيليكون.

• تحسين عمق التركيز - يوفر الطول الموجي ArF أيضًا عمقًا أكبر لهوامش التركيز للأنماط ثلاثية الأبعاد المعقدة.

• نقش أسرع - يتم امتصاص الضوء عند 193 نانومتر بقوة بواسطة مقاومات الضوء للحصول على معدلات نقش أكثر كفاءة.

• الحد الأدنى من التسخين - تمنع التأثيرات الحرارية المنخفضة للاستئصال النبضي ArF حدوث تلف في الطبقات المقاومة للضوء.

• تقليل التلوث - على عكس الأطوال الموجية الأطول، لا ينتج ضوء 193 نانومتر ملوثات محمولة بالهواء أثناء النقش.

• تحكم أكثر دقة بالليزر - تعمل أنظمة توصيل الشعاع المتقدمة على توجيه ضوء الليزر ArF لتحقيق أقصى قدر من دقة المعالجة.

بفضل تحسين ليزر الإكسيمر، ساعدت وسائط فلوريد الأرجون في تمكين ثورة الرقائق الدقيقة من خلال دعم تنميط السيليكون على مقياس النانومتر وما بعده.