مخاليط غاز ليزر الإكسيمر المشهورة

هناك مجموعة متنوعة منغاز الليزر الإكسيمرمجموعات تستخدم صناعيا وعلميا اعتمادا على الطول الموجي للأشعة فوق البنفسجية ومستوى طاقة النبض المطلوب.بعض الخلطات الأكثر شيوعًا ومفيدة تشمل:

• KrF (فلوريد الكريبتون) - يولد 248 نانومتر من الأشعة فوق البنفسجية المشهورة في الطباعة الحجرية للدوائر المتكاملة.كفاءة عالية وجودة شعاع.
• ArF (فلوريد الأرجون) - يوفر ضوء الأشعة فوق البنفسجية بطول 193 نانومتر مثاليًا لتصنيع أشباه الموصلات المتقدمة.انخفاض طاقة النبض.
• XeCl (كلوريد الزينون) - يصدر 308 نانومتر من الأشعة فوق البنفسجية مع طاقات نبضية عالية تستخدم في رأب الأوعية الدموية بالليزر.
•  
• XeF (فلوريد الزينون) – إخراج 351 نانومتر من الأشعة فوق البنفسجية المناسبة لكواشف الفلورة النبضية.نبضات طاقة عالية جدًا.
•  
• F2 (الفلور) - ينتج غاز الفلور النقي 157 نانومتر من الأشعة فوق البنفسجية الفراغية، وهو أحد أقصر الأطوال الموجية.
•  
• KrCl (كلوريد الكريبتون) - انبعاث 222 نانومتر مُحسّن لإجراءات جراحة العيون.استئصال الأنسجة بشكل أكثر دقة.
•  
• ArCl (كلوريد الأرجون) - 175 نانومتر من الأشعة فوق البنفسجية مناسبة لتطبيقات التحليل الطيفي للأشعة فوق البنفسجية العميقة للبحث.
•  
• KrBr (بروميد الكريبتون) - وسط إكسيمر 206 نانومتر مع ثبات بصري معزز مثالي للاستخدامات الصناعية.
•  

يعتمد اختيار خليط غاز ليزر الإكسيمر الأمثل على متطلبات التطبيق المحددة لطاقة النبض، والاستقرار، ودقة الطول الموجي للأشعة فوق البنفسجية.تعمل وسائط الغاز الصحيحة على زيادة أداء ليزر الإكسيمر.