مقدمة إلى غاز الأرجون فلوريد الإكسيمر بالليزر

    فلوريد الأرجون، مع الصيغة الكيميائية ArF، هو غاز ليزر إكسيمر شائع.يستخدم ليزر الإكسيمر مخاليط الغاز التفاعلية التي تشكل جزيئات إكسيمر قصيرة العمر لإصدار رشقات نارية من إشعاع الليزر فوق البنفسجي.بعض الحقائق الأساسية حول ArF:

• التركيب - يتكون غاز ArF من 0.1% فلور و99.9% أرجون متوازن مع غاز عازل مثل النيون أو الهيليوم.

• الطول الموجي للأشعة فوق البنفسجية – ينبعث ليزر ArF ضوءًا متماسكًا عند 193 نانومتر، وهو أحد أقصر الأطوال الموجية للأشعة فوق البنفسجيةالناتجة عن excimers.

• الإخراج النبضي - يحدث الليزر في نبضات النانو ثانية مع قدرة ذروة عالية تصل إلى جيجاوات ولكن دورة تشغيل منخفضة.

• أنظمة التبريد - يجب تدوير غاز ArF وتبريده إلى درجات حرارة مبردة تبلغ حوالي -60 درجة مئوية لتمكين تكوين الإكسيمر.

• التطبيقات - يتم استخدام ضوء الأشعة فوق البنفسجية 193 نانومتر على نطاق واسع في الطباعة الحجرية الضوئية لتصنيع شرائح أشباه الموصلات وغيرها من الآلات الدقيقة الدقيقة.

بفضل طولها الموجي القصير وأدائها الموثوق، تعد أشعة ليزر فلوريد الأرجون مصدرًا متعدد الاستخدامات للأشعة فوق البنفسجية لمعالجة المواد المتقدمة التي تتطلب أقصى قدر من الدقة.