كيف يعمل ليزر الأرجون فلوريد الإكسيمر

الفلوريد الأرجونأو يعتمد ليزر excimer ArF على الخصائص الفريدة لخليط غاز ArF لتوليد شعاع ليزر دقيق فوق بنفسجي بطول 193 نانومتر.فيما يلي نظرة فاحصة على عملية الليزر:

• تفريغ الغاز - يؤدي تطبيق تفريغ كهربائي عالي الجهد إلى غاز ArF إلى إنشاء إلكترونات وأيونات أرجون حرة.

• تكوين الإكسيمر - ترتبط ذرات الأرجون وجزيئات الفلور لتكوين جزيئات الإكسيمر في حالات مثارة قصيرة العمر.

• انبعاث محفزالأيون - تتحلل الإكسيمرات سريعًا لتعود إلى ذرات غير منضمة، مما يؤدي إلى إطلاق فوتونات تؤدي إلى إطلاق المزيد من الفوتون.

• التجويف البصري - يرتد ضوء الأشعة فوق البنفسجية المنبعث بين المرآة الخلفية والمرآة الأمامية الجزئية لتحفيز إطلاق المزيد من الضوء.

• نبضات النانو ثانية - الطبيعة غير المتوازنة لتفاعل الإكسيمر تحد من مدة النبضة بالنانو ثانية مع مستويات طاقة الذروة بالميغاواط.

• تسليم الشعاع - يتم تركيز شعاع الإخراج ومسحه ضوئيًا على السطح المستهدف بواسطة مكونات بصرية دقيقة.

من خلال هذه العملية، يمكن لحالة الإكسيمر العابرة في غاز فلوريد الأرجون أن تولد بكفاءة نبضات فوق بنفسجية عالية الطاقة تبلغ 193 نانومتر لتطبيقات الآلات الدقيقة التي تتطلب أقصى قدر من الدقة.