على الرغم من مزاياها، فإن دمج غازات ليزر الإكسيمر يأتي مع بعض التحديات التقنية المتأصلة التي تتطلب ضوابط هندسية دقيقة وتدابير السلامة:
السمية - غازات الهالوجين التفاعلية مثل الفلور والكلور لها سمية حادة تتطلب أنظمة معالجة الغاز وأجهزة غسل الغاز.
- التآكل –مخاليط غاز الإكسيمرفهي شديدة التآكل للمعادن والمواد الشائعة التي تتطلب معدات متخصصة.
- التفاعل – يمكن أن تنتج التفاعلات الجانبية منتجات ثانوية متفجرة أو سامة أو أكالة يجب منعها.
- عمر قصير - تتحلل جزيئات الإكسيمر العابرة بسرعة مما يحد من مدة نبضة الليزر.
- الاستنفاد - يتم استهلاك ذرات الغاز النبيلة وجزيئات الهالوجين أثناء التشغيل الذي يتطلب أنظمة تجديد محكمة الغلق.
- علم التبريد الشديد – يتطلب الحفاظ على الغازات في درجات الحرارة المبردة معدات تبريد معقدة ومكلفة.
- الأكسدة - يجب إبقاء الشوائب مثل بخار الماء أو الأكسجين أقل من أجزاء في المليون لتجنب فقدان الأداء.
- التكلفة - تؤدي الغازات النبيلة النقية وغازات الهالوجين إلى جانب المعدات الدقيقة إلى ارتفاع التكاليف.
مع المواليةوفقًا لبروتوكولات السلامة وإعادة تدوير الغاز والضوابط الهندسية المتقدمة، يمكن التخفيف من مخاطر وصعوبات غازات ليزر الإكسيمر للاستفادة الكاملة من قدرات الليزر فوق البنفسجية الفريدة والقيمة.
وقت النشر: 08 سبتمبر 2023