مقدمة لخصائص رباعي فلوريد الكربون

رباعي فلوريد الكربون، ذو الصيغة الكيميائية CF4، هو غاز فلوروكربوني غير عضوي.وله هندسة جزيئية رباعية السطوح تتكون من ذرة كربون مركزية محاطة بأربع ذرات فلور.فيما يلي بعض الخصائص الفيزيائية والكيميائية البارزة لـ CF4:

    رباعي فلوريد الكربون (CF4)أصبح غازًا أساسيًا لصناعة الإلكترونيات، خاصة في عمليات حفر البلازما وترسيب البخار الكيميائي.بفضل محتواه العالي من الفلور، ينفصل CF4 إلى جذور F التفاعلية وأيونات تعمل على حفر المواد بشكل انتقائي مثل ثاني أكسيد السيليكون فوق السيليكون.وهذا يسمح بالزخرفة والتشكيل الدقيق لطبقات الأكسيد العازلة على الرقائق شبه الموصلة أثناء إنتاج الرقائق الدقيقة.يعد CF4 مفيدًا أيضًا في تنظيف غرف الترسيب من خلال قدرته على إزالة المخلفات العنيدة المحتوية على السيليكون.بالإضافة إلى ذلك، يمكن لـ CF4 حفر التنغستن والتيتانيوم بشكل انتقائي دون إزالة الألومنيوم.مع ظروف البلازما القابلة للضبط، تتيح بلازما CF4 الحفر متباين الخواص الضروري للحفاظ على الجدران الجانبية العمودية على الميزات المحفورة لتصنيع الدوائر المتكاملة.

عند درجة الحرارة والضغط القياسيين، فهو غاز عديم اللون وغير قابل للاشتعال.لها رائحة أثيرية باهتة قليلاً.وهو قابل للذوبان بشكل معتدل في المذيبات العضوية.تبلغ كثافته العالية 3.72 جم/لتر عند STP، أي أثقل من الهواء بحوالي 3 مرات.وهو واحد من فلوريد الكربون الأكثر استقرارًا كيميائيًا وحراريًا.

يبقى CF4 خاملاً عبر نطاق درجة حرارة واسع يصل إلى حوالي 500 درجة مئوية.ولا يمكن تسييله بسهولة إلا تحت ضغوط عالية.الخاصية الرئيسية هي السالبية الكهربية العالية وقوة العزل الكهربائي، حوالي 2 مرات أعلى من الهواء.وهذا يجعلها مناسبة تمامًا كوسيلة عازلة غازية.بشكل عام، يعتبر CF4 غازًا متماثلًا ومستقرًا وغير تفاعلي إلى حد كبير إلا في حالة وجود تسخين شديد أو تفريغ كهربائي.