تُستخدم غازات ليزر الإكسيمر، والمعروفة أيضًا باسم غازات الإكسيمر، كوسيط ليزر في ليزر الإكسيمر.إنها قادرة على إصدار أشعة ليزر فوق بنفسجية عالية الكثافة من خلال تكوين وتحلل جزيئات الإكسيمر أو الدايميرات قصيرة العمر.وفيما يلي بعض الميزات الرئيسية لغازات الإكسيمر:
- التركيب – تتكون من غاز نبيل مثل الأرجون أو الكريبتون ممزوجًا بغاز الهالوجين التفاعلي، عادةً الفلور أو الكلور.المجموعات الشعبية هي ArF وKrF.
- تكوين الإكسيمر - ترتبط ذرة الغاز النبيل وغاز الهالوجين مؤقتًا عند التحفيز الكهربائي لتكوين الإكسيمر، وهو ثنائي في حالة مثارة يتحلل بسرعة.
- انبعاث الأشعة فوق البنفسجية - تطلق عملية الاضمحلال هذه فوتونًا في نطاق الأشعة فوق البنفسجية.تنبعث مخاليط الغاز المختلفة من أطوال موجية مختلفة للأشعة فوق البنفسجية مناسبة لمختلف التطبيقات.
- الخرج النبضي - تنتج ليزرات Excimer حزمًا نبضية ذات فترات نبضية قصيرة جدًا تبلغ نانو ثانية وقدرات ذروة عالية تصل إلى ميجاوات.
- أنظمة التبريد - يتم دمج الغازات في أنظمة دوران مغلقة ويتم تبريدها إلى درجات حرارة مبردة لتمكين تفاعل الإكسيمر.
إن الخصائص الفريدة لغازات ليزر الإكسيمر، وخاصة قدرتها على توليد ضوء ليزر قوي فوق البنفسجي، تجعلها مفيدة في العمليات التكنولوجية والصناعية المتنوعة التي تتطلب مصادر قوية للأشعة فوق البنفسجية.
وقت النشر: 08 سبتمبر 2023